X射線微焦點電子元件檢測系統

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微焦點實時成像檢測系統
 
    微焦開放式射線源配合數字平板探測器組成的微焦點實時成像檢測系統,可以得到高分辨率的數字圖像。將圖像效果呈現出了高放大倍率及高分辨率,特別適合檢測小工件或微小缺陷。如電子元器件,半導體,電池,醫療器具,塑料產品等等。丹東華日理學電氣有限公司根據市場應用開發出的針對行業檢測的系統,如PCB板檢測系統,電池檢測系統等,通過軟件操作實現缺陷檢測,并可對缺陷進行自動判別,測量等。

產品特點
  ■ 管頭采用開放式設計,管頭的所有部件均可更換,壽命無限長。
  ■ 控制系統采用模塊化設計,結構簡單、集成度高、體積小、便于維護保養。
  ■ 采用以太網實現高壓發生器、聚焦電路等模塊與電腦的連接,連線簡單。
  ■ 各模塊均采用32位ARM處理器作為控制核心。
  ■ 系統具有自校準功能。
  ■ 帶有光電隔離I/O口,可以與PLC連接。
 
應用范圍
  ■ 工業產品方面如鋁鑄件的孔隙及夾雜類缺陷,復合材料的缺陷檢測等;
  ■ 自動化產品方面如電子控制單元,電池,微型機械裝置,電纜接頭等;
  ■ 電子類產品方面如各類封裝的電路板或電子器件,焊接類缺陷,多層的電路板或無元器件的裸板等,
          包括各類半導體元器件的缺陷檢測;
  ■ 醫療設備方面可檢測如注射器,吸入器等醫療用品。

系統組成
  ■ 開放式微焦點X射線管
          開放式:采用開放式封裝結構
          微焦點:通過電場聚焦與電磁聚焦相結合使電子聚焦的方式,來獲取微米級焦斑
  ■ 真空系統
          體積小、振動小、干燥
          無油系統
          真空度高
          任意角度擺放
  ■ 控制系統
          控制系統采用模塊化設計,集成度高,體積小
          各模塊均采用32位ARM處理器作為控制核心。連續長時間運行穩定,控制精度高,響應速度快
          系統具有自校準功能
  ■ 高壓系統
          160kV陰極高壓發生器
          高壓穩定可控、電壓調節可達0.1kV
          高靈敏的電壓,管電流穩定可控
          可長時間連續工作,穩定耐用
  ■ 冷卻系統
          冷卻分為自然冷卻與強制冷卻
          透射式微焦點X射線管采用自然冷卻方式
          反射式微焦點X射線管采用水冷進行強制冷卻


技術參數
型號 MX T-160/T1 MX T-160/R
名稱 開放式透靶單透鏡微焦點X射線管 開放式反射透靶微焦點X射線管
管電壓調節范圍 20 -160kV 20 -160kV
管電壓控制精度 0.1kV 0.1kV
管電流調節范圍 1-1000 μA 1-300 0μA
管電流控制精度 ±0.1  μA  μA
靶功率(MAX) 10W 160W
JIMA分辨率 3μ 3μ
靶類型 透射式 反射式
輻射角度 160° 30°
焦點到物體的最小檢測距離 0.25mm 4mm
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